熱偶真空計利用氣體分子的熱傳導(dǎo)現(xiàn)象，可能測量的壓力范圍在1~300Pa之間。熱電偶真空計測得細(xì)線溫度同時,也受到細(xì)線本身的固體熱傳導(dǎo)和熱輻射放熱的影響。因此精度不高。但是電路簡單，價格低廉。

熱偶真空計工作原理：

熱電偶接在白金或鎢的細(xì)線上。這段細(xì)線通過電流後會發(fā)熱。發(fā)出的熱量通過周圍氣體分子的熱傳導(dǎo),或細(xì)線本身的固體熱傳導(dǎo),或熱輻射放出。利用氣體分子承擔(dān)的熱傳導(dǎo)量與壓力成正比的特點是此真空計的原理。

如果保持細(xì)線的發(fā)熱量即保持一定的電流,則周圍壓力高的時候氣體奪走的熱量較多,致使細(xì)線的溫度較低。反過來周圍壓力低的時候細(xì)線的溫度會升高。這種溫度的變化通過熱電偶檢測出來,將熱電偶的起電力換成壓力之後即可知真空腔內(nèi)的壓力。